近日，省经济和信息化厅、省财政厅联合发文《关于公布2019年度浙江省装备制造业重点领域首台（套）产品名单的通知》（浙经信技术〔2018〕237号），滨海新城下辖的企业浙江上方电子装备有限公司生产的CIGS薄膜太阳能电池PVD钼沉积设备列入其中，成为新城首个省内首台（套）产品。

    据了解，CIGS薄膜太阳能电池PVD钼沉积设备是高效率CIGS薄膜太阳能电池的关键工艺生产设备。该设备采用自主研发的高效率磁控溅射旋转阴极沉积技术和装置，突破了传统设备中靶材利用率低、磁场均匀性差、无法进行大功率高速沉积薄膜材料等难题，在高真空环境下实现大幅面基板的连续式、全自动化的纳米级金属钼薄膜制备，满足了高性能CIGS薄膜太阳能电池生产要求。该设备获得浙江省首台（套）设备产品认定，将为行业内其他关键工艺设备的国产化起到示范作用，引导和鼓励设备厂商积极投入研发，逐步实现全行业的自主化发展。

（经发局）